GUOLIN · PRAMONINĖS OZONO TECHNOLOGIJOSĮrangos parinkimas · Integravimas · Techninė priežiūra
Ozono dujų tiekimo sistemaGamintojo pateikiama originali produkto nuotrauka. Galutinė komplektacija gali skirtis.
Sistemos komponentai

Ozono dujų tiekimo sistema

Ozone Gas Delivery System

Didelio grynumo ozono dujų tiekimo sprendimas puslaidininkių procesams. Tiekimo ir kontrolės grandys projektuojamos pagal technologinės įrangos reikalavimus.

Parinkti komplektaciją ↗
Produktų katalogasGUOLIN
KomplektacijaPagal techninę užduotį
KainaPagal užklausą

Paskirtis ir veikimas

GUOLIN ozono dujų tiekimo sistema skirta didelio grynumo procesiniam ozonui. Gamintojo apraše nurodomos atominio sluoksnio nusodinimo (ALD) ir atominio sluoksnio ėsdinimo (ALE) taikymo kryptys. Sistemos užduotis yra suderinti ozono gamybą ir tiekimą su procesu, kuriame svarbūs srauto, koncentracijos ir slėgio parametrai.

Parinkimas jūsų procesui

Parinkimui reikia aprašyti naudojimo taškus, vienalaikį poreikį, dujų parametrus ir galimus darbo ciklų pokyčius. Pateikiami leidžiami priemaišų limitai, medžiagų reikalavimai ir proceso įrangos sąsajos. Bendras šeimos aprašas nepatvirtina konkrečių dujų švaros klasių ar visoms gamybos operacijoms tinkamų receptūrų.

Integracija ir komplektacija

Pasiūlyme atskirai nustatomos generatoriaus, paskirstymo, matavimo, atjungimo ir likutinių dujų apdorojimo tiekimo ribos. Saugos bei paleidimo procedūros derinamos su gamybos linijos valdymu. Priėmimo metu vertinamas parametrų pastovumas naudojimo taške, o ne vien generatoriaus išėjime.

Techninė informacija

Parametrai ir parinkimo ribos

Duomenys pagal gamintojo šaltinius. Lentelėje nurodytos šeimos ar konkretaus modelio ribos nėra kiekvienos komplektacijos garantija. Modelį, darbo sąlygas ir tiekimo apimtį patvirtina techninis pasiūlymas.

Kur šis produktas tinka?

  • ALD procesų ozono tiekimas
  • ALE procesų ozono tiekimas
  • Puslaidininkių procesinių dujų grandys

Ką suderinti prieš užsakant?

  • Ozono gamyba ir paskirstymas
  • Dujų parametrų matavimas
  • Linijos valdymo sąsajos
  • Saugos ir išmetamųjų dujų grandys

Dažniausi klausimai

Ar sistema apima ozono generatorių?

Tiekimo riba nustatoma projekto komplektacijoje. Ozono gamybos ir paskirstymo dalys turi būti aiškiai išvardytos pasiūlyme.

Ar vienas tiekimo blokas gali aptarnauti kelis taškus?

Tai priklauso nuo vienalaikio srauto, slėgio ir koncentracijos reikalavimų. Naudojimo taškų skaičius derinamas projektuojant.

Kur tikrinti proceso parametrus?

Priėmimo kriterijai nustatomi naudojimo taške ir reikalingose tarpinėse matavimo vietose, kad būtų įvertinta visa tiekimo grandis.

Proceso sauga

Ozono sistemą reikia projektuoti su tinkamu vėdinimu, nuotėkio kontrole, tarpusavio blokiruotėmis ir likutinio ozono skaidymu. Patalpų apdorojimo metu žmonių ir gyvūnų buvimas bei grįžimo sąlygos nustatomos pagal įrenginio instrukciją ir rizikos vertinimą.

Informacijos pagrindas

Patikrinta 2026-11-12. Papildomai naudoti GUOLIN produktų katalogai. Atskirų katalogų ir interneto kortelių kartos gali skirtis; prieštaringus duomenis tiksliname pagal pasirinktą modelį.

Nuo užduoties iki sprendimo

Jūsų procesas nusipelno
tiksliai parinktos sistemos.

Papasakokite apie srautą, taikymo sritį ir norimą rezultatą.

Jūsų projektas

Pradėkime nuo poreikio.